Hogyan számoljuk ferde anizotrop Rézkarc

Azonosító eltolódása - vagy eltérés sejtek - anizotróp maratás szükséges számítási módszer az úgynevezett " kompenzáció ". Ez látható , ha van megoldása egy algoritmust használnak , amikor szimuláló rézkarc folyamat szilíciumot EDP ​​, KOH vagy TMAH megoldás. Amikor a Cellular Automata ( Kalifornia) módszer a maratás szimuláció alkalmazunk, a szubsztrátum által képviselt egyedi sejtek , amelyek belsejében kristályos rácsos szerkezetet. Utasítások
1

Írd le az egyenletet , hogy hány etch lépést . Ezt fejezik ki , mint az N (t ) = [M /E ( ek) T ]- t . Az alapértelmezett érték 1 használjuk T. Az érték M egy többszöröse E (s) , T. Az érték az E ( ek) [ 0,1] . Matton 2

Írja ki az egyenlet , hogy meghatározzák a etch ekvivalens arány a felület anyaga . Ezt fejezik ki , mint:

E (s ) = M /N (t) a T = M /(M /E ( ek) T ) T = E (s) .

Ha az M nem többszöröse az E (s) T , akkor eltérés akkor fordul elő, mert a rézkarc , a következő cella nem indul el azonnal .
3

jegyezze fel a "k ", ami azonosítására használnak egy maratási lépés. A következő etch lépés a folyamatban az szerepel, k + 1 . Megjegyzés az időmérleg egy etch lépést Tb ( k) .
4

Írd le az egyenlet kiszámítani az időt kompenzáció. Ez az egyenlet kifejezve :

M ( k)> E (s) (T + Tb ( k-1 ) photo

majd a T ( k) = T + Tb ( k-1 ) photo

M (k +1 ) = M ( k) - E ( ek) T ( k ) photo

Tb ( k) = 0

mást

T ( k) = M ( k) /E (s)

M ( k +1) = 0

Tb ( k) = T - T ( k)

a végeredmény az idő kompenzációs módszer eredményei hogy az alábbi egyenletben kifejezve:

E (s) = M ( k ) /T ( k) = E (s) egy maratási lépés k .