Hogyan lehet eltávolítani Plazma Etch Polimer

Amikor egy villanyszerelő kémikus vagy akarja , hogy módosítsa a kémiai és fizikai tulajdonságai a felszínen egy integrált áramkör ostya , úgy ismert, mint a plazma feldolgozás. Ennek egyik formája az úgynevezett feldolgozó plazma maratással , amely egy parázsfény (más néven plazma) egy adott gáz. A kibocsátás megjelent impulzusok a patak nagy sebességgel közvetlenül a kapcsolási példa . A forrás a plazmában , az úgynevezett etch faj , vehet egy két jellemző - feltöltött sorolt, ionok, vagy semleges , ami alkotja atomok és gyökök . Mivel a feldolgozás megkezdése etch , hogy a kisülési áramlott rá az áramkör létrehoz maratási maradék illékony eredményeként a kémiai reakció között az anyag és a maratott etch fajok által létrehozott plazma . A fizikai és kémiai tulajdonságai megváltoznak áramkör végül az atomok , mint a plazmából patak tulajdonítanak vagy áthatolni a felületen. Attól függően, hogy a gáz, hogy használják a plazma- patak, a plazma etch polimer formában, mint a maradék után process.Things amire szüksége van
Integrált ostya áramkörök
Plasma etch polimer eltávolító ( PRX - 127)
nagy teherbírású védőkesztyű
Sebészeti maszk
védőszemüveg vagy védőszemüveg
Kiszerelés tartályok
Ioncserélt (DI) vízzel öblítőtartály
centrifuga vagy spin - öblítés szárító

Show More utasítás
1

plazma etch polimer valószínűleg keletkezhetnek használata után plazma etch feldolgozás fluorokarbon alapú gázok, mint például a szén- és hydrotrifluoride oktafluor-propán . Ezek a gázok létre telítetlen vegyületek a plazmában , amelyek ezután az integrált áramkör ostya. Ezeket el kell távolítani ahhoz, hogy a további feldolgozásra , hogy továbbra is a plazma . Matton 2 Vegye rendkívül óvatosan körül veszélyes vegyi anyagokat.

Plazma etch eltávolító polimer , ismert PRX -127 , egy kémiai vegyület , amelynek alkotóeleme étert , szulfoxid és-hidroxid , és rendkívül veszélyes lélegezni vagy kapcsolatot. Javasoljuk, hogy mielőtt használja a terméket , kesztyűt , védőszemüveget és maszkot kell viselni . A vizes - pad merítés folyamat egyik biztonságosabb módon kezelni ezt a vegyületet , és nagyon kevés fizikai kölcsönhatás .
3

Töltsük két csíkot tartályok , amelyeket kifejezetten a nedves - pad folyamatot a PRX -127 oldatot , és hogy a hőmérséklet a 70-90 Celsius fok. Vigye az érintett kör lapkák óvatosan az egyik tartály a védőkesztyűt. Az ostya maradjon az oldatban legalább öt percet , de nem hosszabb, mint 20 perc alatt az optimális hatás érdekében . A mechanikus vagy akusztikus alapú nyugtalanság módszer ajánlott az első fürdő .
4

át az ostya az első csíkot tartályt a második , ha a fürdő ciklus befejeződött, és áztassa a szeletek ismét öt 20 perc alatt további keverés közben. Ez a második fürdő eltávolítja a meglévő polimer réteg alatt a maradékot a felületen az ostya .
5 Ionmentes víz teljesen tiszta víz , és nincs egyéb ásványi anyagok.

Vegye ki az ostya a PRX -127 oldat és átadják egy harmadik megtöltött SVC -300 öblítő , olyan megoldást , amely elsősorban a festék eltávolítására . Elég biztonságos a használata , mert mérgező és nem gyúlékony , és nem károsíthatja a szeletek . Az ostyák kell maradnia ebben az oldatban 2:58 percig. Transzfer a lapkák egy végső megoldás - ioncserélt víz - belül a öblítőtartály hat- nyolc cikluson keresztül , majd egy centrifuga vagy spin- öblítő szárító nyomainak eltüntetésére a megoldás. Az ostyák teljesen mentesnek kell lennie a polimerek , és most már biztos, hogy újra felhasználható további plazma vésett feldolgozás .