Nyissa meg a porlasztási rendszere . Vegye ki a köpköd lövegpajzs és csavarja le a gyűrűt, hogy tartja a porlasztás cél a helyén. Helyezze a fém- oxid célt rá a köpköd fegyvert , és csavarja be a cél gyűrűt precíziós csavarhúzó . Cserélje ki köpköd lövegpajzs . Helyezze a műanyag hordozó a hordozó tartóba. Zárja le a porlasztási rendszere .
2
Szivattyú a porlasztási rendszere le a megfelelő nyomás beállítás , mint 10 ^ -6 millibar . Ügyeljen arra, hogy a zár zárva , így az aljzat nincs kitéve a lerakódás , amíg szükséges. Mutassa be a rendszer argon gáznak a kamrába, amíg a nyomás körülbelül 5 millibaros elérésekor .
3
Kapcsolja be a rádiófrekvenciás tápegység. Várja meg, amíg a látható plazma látható a porlasztás kamrában . Nyissa ki a zárat. A műanyag hordozó most kitéve egy lerakódását fém -oxid-molekulák . Zárja le a zárat, amikor a kívánt vastagság kaptak .